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Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology ‧ 半導體製程技術導論
Ch 1 + 2  導論 ‧ 積體電路製程介紹
© CW
教師模式
本頁導覽 ‧ OVERVIEW

COLD OPEN · 一片晶圓的工廠任務

從一顆手工電晶體,到一座量產晶片的工廠

七十多年前的單顆開關,如今被複製成數十億顆並塞進指甲大的晶片。它會在黃光、真空、電漿與高溫之間往返;先看尺度怎麼跳躍,再跟著晶圓跑一圈。

1,200+典型大型 fab 製程工具
數週從裸晶圓到完成晶片
30+ 層元件與金屬互連
1947 年第一顆電晶體的複製品 Intel 4004 微處理器實物 Intel Core i7-2600K 處理器實物
實物尺度演進:第一顆電晶體複製品(公有領域)→ Intel 4004 → Core i7;後兩圖為 CC BY-SA,完整署名見 assets/timeline/CREDITS.txt。
LIVE · 晶圓目前所在站點
01 · Wafer 晶圓高純度單晶矽是所有元件共同的畫布,表面平坦度以奈米尺度管理。

兩章學習目標

預估 70–90 分鐘

Ch1 導論 — 你將能夠

  • 說出發明電晶體的三位、共享 IC 專利的兩位科學家
  • 區分離散元件與積體電路
  • 用摩爾定律解釋產業節奏
  • 說明特徵尺寸、晶圓尺寸與技術節點

Ch2 製程介紹 — 你將能夠

  • 用「良率」解釋晶片成本
  • 說明汙染來源與無塵室原理
  • 認識晶圓廠各製程區(=本課程地圖)
  • 概述晶圓完工後的測試與封裝
中文重點
這是「地圖章」:先看懂半導體為什麼存在、晶圓廠長什麼樣,之後每一章都會回到這張地圖上的某一站。
Ch1 ‧ §1.1

From Vacuum Tube to IC

從真空管到積體電路

1947 年 貝爾實驗室發明 電晶體; 1958–59 年 Kilby 與 Noyce 造出第一顆積體電路。點下方時間軸看故事。

互動時間軸

點「上一步 / 下一步」或圓點,瀏覽半導體大事紀。

排序小遊戲:把歷史事件排回正確順序

拖曳卡片上下排序(手機長按拖動),按「檢查」看看對不對。
中文重點
考點:發明電晶體的三位=Bardeen・Brattain・Shockley(1947);共享 IC 專利的兩位=Kilby(TI,1958)與 Noyce(Fairchild,1959,平面式)。
開場先問:ENIAC 用了約 18,000 支真空管;現在一顆手機晶片上百億顆電晶體。三人故事可連到八叛徒出走、Fairchild、摩爾定律。
Ch1 ‧ §1.2 ‧ ★主互動

Moore's Law Explorer

摩爾定律探索器

1965 年 Gordon Moore 觀察到:每顆晶片的電晶體數約每 18–24 個月翻倍。這不是物理定律,而是一條經濟預測——整個產業的節拍器。

拖動年份,看電晶體數如何指數成長

拖「年份」滑桿看當年代表晶片;勾選可疊上「每 2 年 ×2」理論線。
代表晶片
Intel 4004
電晶體數
2,300
晶片照片
中文重點
摩爾定律是「經濟定律」:每 18–24 個月電晶體數倍增、單位功能成本下降。近年放緩 → 3D、chiplet 接棒。
Ch1 ‧ §1.2

Feature Size ↓ × Wafer Size ↑

特徵尺寸縮小・晶圓變大

摩爾定律的兩具引擎:特徵尺寸縮小(單顆更快更省更便宜)+晶圓尺寸變大(每批更多晶粒)。兩者都是為了降低單位成本。

雙引擎實驗

拖兩支滑桿——左圖看單顆晶粒內的電路密度,右圖看晶圓上的晶粒數;右圖晶粒顏色越深=每顆塞進越多單元。最下方讀數把兩具引擎「相乘」。
10µm→2nm
左圖:每顆 10 mm 晶粒
右圖:每片晶圓的完整晶粒
連動結果
同功能電路面積(特徵尺寸越小越省地)
同尺寸晶粒在晶圓上的數量(顏色越深=單顆塞越多單元)
每片晶粒數(此晶粒10mm)
相對 200 mm 晶圓面積
1.0×
本次組合:每片晶圓相對功能單位
中文重點
兩具引擎是相乘的:特徵尺寸縮小→同一顆 10mm 晶粒塞進更多單元;晶圓變大→一片切出更多晶粒(300 mm 面積是 200 mm 的 2.25×,邊緣利用率也更好)。注意:數十年來晶粒尺寸大致沒變(~10mm 見方),變的是「密度 × 數量」——單位功能成本因此持續下降。
Ch1 ‧ §1.2

Technology Nodes & Integration Levels

技術節點與積體化世代

技術節點=製造能力的世代代號。翻卡認識五十年來積體化的規模躍進。

翻卡:積體化世代(點卡片翻面)

點卡片看該世代的年代與元件數。
Ch2 ‧ §2.2 ‧ ★最重要

Yield & Die-Cost Calculator

良率與晶粒成本計算機

良率是晶圓廠第一 KPI: 單顆成本 = 晶圓成本 ÷ (每片晶粒數 × 良率)。良率就除在分母。

動手算:三支滑桿,看單顆成本如何被良率放大

調整晶圓價、晶粒邊長、良率;右圖為 300mm 晶圓地圖(綠=好、紅=壞)。按「重抽」重新著色。
每片晶粒數
好晶粒數
單顆好晶粒成本
晶圓地圖
中文重點
同一片晶圓、同樣成本,良率 90% 與 45% 的單顆成本差一倍——整座廠都在為良率服務。
帶學生實際算一次:先進 12 吋晶圓上萬美元,乘上良率差就是驚人金額。殺良率的兇手=缺陷與汙染(下一節)。
Ch2 ‧ §2.3

Contamination & Cleanroom

汙染與無塵室

一顆 ≥ 半個特徵尺寸的微粒就能殺死一顆晶粒。無塵室用過濾層流把微粒壓到極低。

微粒視覺化:不同等級有多乾淨?

拖「Legacy Class」滑桿,方塊代表舊式 Class 表示中的 1 立方英尺、≥0.5µm 微粒量級(對數感受);ISO 對照僅供教學近似。
≥0.5µm 微粒 / ft³
≤1
ISO 14644
ISO 3
典型用途
先進微影

更衣順序排序

把進無塵室的穿著步驟拖成正確順序,按「檢查」。
中文重點
「人是最髒的機台」:一個人靜止時每分鐘也釋出十萬顆微粒——所有規範只為把人這個最大微粒源包起來。
Ch2 ‧ §2.4 ‧ ★全站導覽

Inside the Fab — Map

晶圓廠地圖(=本課程目錄)

點下方廠區,看它做什麼、用什麼機台、對應本課程第幾章。這張圖就是全課的地圖。

互動廠區地圖

點任一區塊 → 右側顯示說明與對應章節連結。
點左圖的廠區
微影區在中央(全廠最貴、黃光照明),其他製程區環繞。
中文重點
這張地圖=本課程目錄:每個區就是一章。黃光區為什麼是黃的?——光阻對藍紫光感光。
Ch2 ‧ §2.4

The Wafer's Journey

晶圓的旅程:一層一循環

IC 製造=同一套單元製程重複數十次的排列組合。走一遍「一層」的循環,再按快轉看整片晶圓要走幾百步。

循環播放器

用「下一步」逐步看晶圓剖面如何長出/刻掉一層;按「⏩ 重複×30層」看步數與週期暴增。
累積步數
0
光罩層數
0
週期時間
中文重點
先進 IC 有 20–40+ 光罩層 → 數百道步驟、6–10 週製程週期。任何一步出錯都可能報廢整批。
Ch2 ‧ §2.5

Testing & Packaging

測試與封裝

前段 fab 做「電路」,後段做「保護與連外」。晶圓完工後:CP 晶圓測試 → 切割 → 封裝 → FT 成品測試,才是可出貨的 IC。

後段流程

翻卡:三種測試

點卡片看定義。
兩章串聯

How the Two Chapters Connect

Ch1 與 Ch2 如何互相支撐

摩爾定律(要更便宜) → 良率 × 晶圓尺寸(決定成本的公式) → 無塵室與循環製程(怎麼做到)。整學期就是把「循環」中的每一站放大細看。

隨堂測驗 ‧ QUIZ

Quiz — Ch1 + Ch2

兩章合併測驗(18 題)

逐題作答即時看回饋與解說。(教師模式:已直接標出答案)